135 0625 7255
洁净厂房中化学品储存间如何布置
发布者:香蕉APP小视频净化工程公司浏览次数:发布时间:2023-06-27
在洁净厂房内根据产品生产工艺需要和化学品物化性质分别设置不同类型的化学品储存、分配间,以输送管道向所需化学品的生产设备供应相应的化学品。洁净厂房内的化学品储存、分配间通常设在生产支持区(辅助生产区),一般设在靠外墙的单层或多层的底层房间。各类化学品应按其物化特性分类储存,不相容的化学品应布置在不同的化学品储存、分配间内,房间之间应以实体隔墙进行分隔;危险性化学品应储存在单独的储存间或储存分配间内,与相邻房间的隔墙耐火极限不应小于2.0h,并应布置在生产厂房一层靠外墙的房间内。

在电子工厂洁净厂房内通常设有酸类和碱类化学品储存分配间、可燃溶剂类化学品储存间。在酸类储存分配间内一般设置硫酸、磷酸、氢氟酸、盐酸等储存、分配系统,在碱类储存分配间内一般设置氢氧化钠、氢氧化饼、氢氧化胺、氢氧化四甲基胺等储存、分配系统;可燃溶剂的储存分配间内一般设有异丙醇 (IPA)等有机溶剂的储存分配系统。在集成电路晶圆制造工厂洁净厂房内还设有研磨液储存分配间。在集成电路晶圆、平板显示器件制造洁净厂房中,通常是将化学品储存分配间布置在靠近洁净生产区或贴邻在洁净生产区一侧的辅助生产区或支持区,一般是设置在一层并能直接通往室外的布置。

化学品储存分配间内根据产品生产所需的化学品种类、数量和使用特性设有不同容量的储存用桶槽或储罐。按标准规范的规定,化学品应分类分别储存,所采用的桶槽或储罐的容量应为此类化学品7天的消耗量;并应设置日用桶槽或储罐,日用桶槽的容量应为产品生产所需化学品 24h的消耗量,可燃溶剂化学品、氧化性化学品的储存分配间应分别设置,并与相邻房间之间设置耐火极限为3.0h 的实体防火隔墙分隔,若布置在多层建筑的一层时,应以耐火极限不小于 1.5h 的不燃烧体楼板与其他部分分隔;洁净厂房内的化学品安全及监探系统集中控制室应设置在单独的房间内。

洁净厂房内化学品储存分配间的高度应根据设备和管道布置的要求确定,一般不宜低手4.5m;若布置在洁净厂房辅助生产(支持区)部分内时,化学品储存分配间的高度宜与所在部分的厂房高度一致。

友情链接

友链合作
网站地图