电子洁净厂房化学品回收系统及设备
发布者：香蕉APP小视频净化工程公司浏览次数：发布时间：2023-07-12
在电子工业洁净厂房中，以芯片制造、平板显示器件制造为代表的生产过程需用多种化学品，尤其是芯片生产过程所需的化学品 （包括特种气体）都要求非常高的纯度和特殊的反应机理，晶圆越大，洁净度要求越高，产品生产所消耗的各种品种化学品总计的成本就高，据有关资料介绍化学品的成本占晶圆总制造的成本达 40%；虽然不同的产品生产工艺具有各自的特点，但是都需设置不同的化学品回收系统，据了解，化学品回收系统有回收利用、收集委托处理和回收处理后排放等方式。化学品回收系统应根据排出;废液的不同性质确定，不得将可能发生化学反应的两种或多种化学品合并为一个系统进行回收。在集成电路芯片工厂和液品显示器面板工厂内的化学品回收系统均连续不间断地收集和处理从产品生产过程排放的化学品废液。
化学品废液回收系统按其物化性质分别收集和处理，如有机废液回收系统--从生产设备连续排出的异丙醇、剥离液、光刻胶经过管道排放到废液回收储罐，等待处理；酸碱回收处理系统从生产设备排放的酸碱废液、氨水废液等经过管道排放至回收罐，一般经中和处理达到排放标准后排放；在平板显示器件的制造过程中使用的铝（AD、铬(Cr)的刻蚀液属于重金屆废液，一般也是经管道排放至回收储罐，等待处理等；化学品废液收集后应严格按化学品类别回收利用或委托专门企业处理或回收处理达到排放标淮后排放等。据了解，在集成电路芯片工厂光刻胶、剥离液一般是委托有资质的厂家进行处理后再利用，在芯片工厂内设有回收储罐及其管路系统，从生产工艺设备排放的废液通过重力流至收集回收储罐，定期由泵抽送至液体槽车外送至处理工厂
①化学品回收储罐一般设在洁净厂房内的辅助生产区，并宜采用集中布局的方式，但溶剂化学品回收系统应与酸碱化学品回收系统分区域设置。化学品回收用桶罐的储存容量宜大于或等于7天的废液量，回收桶槽应设置备用桶槽，桶槽数量不得少手2支；并设有桶槽自动切换装置，按桶槽的液位计实现自动切换，回收桶槽的液位计应有高位指示、报警和联锁功能
②化学品回收系统的设备应设置在防护堤内，防护堤的容积应大于防护堤内较大回收储罐的单罐容积；防护堤内应设有泄漏皮液收集沟，并应在收集沟内设置废液收集池；对于不同性质的化学品回收桶槽应布置在不同的防护堤，避免因泄漏排人的两种或两种以上的化学品发生化学反应引发事故。化学品回收系统的桶槽等设备的材质选用应与相应的化学品供应系统的要求相同。
③洁净厂房中化学品回收系统管道的布置应满足产品生产操作、设备管道安装及维护检修的要求，一般化学品回收管道均采用架空敷设，通常按化学品回收系统的流向自上而下通过重力流至回收桶罐，若排放的生产设备与化学品回收系统之间无法实现重力流排放时，应按厂房内设备．管道的实际布置状况增设中间储罐，并从中间储罐采用泵抽送化学品废液至化学品回收系统的回收储罐，化学品回收系统管道的设置，管道及附件的材质选用等均与相应的化学品供应系统的要求相同
